X-EYE NF120
Nano-Focus X-RAY

Zainstalowana w urządzeniu lampa rentgenowska o rozdzielczości 200 nano jest rozwiązaniem dedykowanym do inspekcji struktur płytek półprzewodnikowych (WLP) pod kątem defektów submikronowych.

Urządzenie oferuje możliwości dokładnej lokalizacji uszkodzonego obszaru poprzez precyzyjny ruch osi i antywibracyjnego stołu.

Moduł tomografii komputerowej 3D, funkcja automatycznej inspekcji struktur płytek półprzewodnikowych ze stacją załadowczą i system transportującym są dodatkowym, opcjonalnym wyposażeniem systemu.

System do nieniszczącej analizy
struktur plytek półprzewodnikowych

Obrazy wysokiej rozdzielczości z funkcją
podwójnej tomografii komputerowej

Pionowe połączenia elektryczne (TSV),
mikro nierówności, struktury półprzewodników

SPECYFIKACJA

LAMPA X-RAY

120 kV / 200µA

MIN. ROZDZIELCZOŚĆ

0,2 µm

ROZMIAR STOŁU

Płytka 305 x 305 mm

DETEKTOR

152 mm FPXD

METODA SKANOWANIA TK

TK z  wiązką ukośną

TK z wiązką stożkową

OSIE

X, Y, Z (Odchylenie osi Z: 70º), R

WYMIARY

Szerokość: 2380 mm

Długość: 1450 mm

Wysokość: 2120 mm

WAGA

7000 kg

PRZYKŁADOWE ZDJĘCIA

APLIKACJE

PKG

WAFER

APLIKACJE

PKG

WAFER

You have Successfully Subscribed!