Najbardziej ekonomiczny model o optymalnej specyfikacji dla podstawowego obrazowania SEM. System jest gotowy do obrazowania próbki w ciągu 3 minut od jej załadowania. Funkcja analizy EDS jest dostępna również w jako opcjonalne wyposażenie systemu w podstawowej konfiguracji umożliwiając przeprowadzanie precyzyjnej mikroanalizy elementarnej.
Rozdzielczość
15nm
Powiększenie
60 000x
Detektor SE
Obraz SE
Elektrony wtórne (SE)
Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wtórnych przedstawiają topografię powierzchni w najdrobniejszych szczegółach.
ŁATWOŚĆ UŻYTKOWANIA
SYSTEM POLA ROBOCZEGO
X,Y,R (3-osie) Przesunięcie wiązki: 150μm
Autokalibracja
Ostrość, Kontrast, Jasność
SIMPLE S/W
Convenient Operation
Wygoda dzięki możliwym przesunięciom pola roboczego w 3 osiach i prosta obsługa za pomocą myszki.
Możliwość przeprowadzania różnego typu pomiarów i analiz za pomocą szerokiego zakresu trybów
SPECYFIKACJA
ROZDZIELCZOŚĆ
15nm (30kV, Obraz SE)
POWIĘKSZENIE
20x~60 000x
NAPIĘCIE PRZYSPIESZAJĄCE
1~30kV (1/5/10/15/20/30)
DETEKTOR
Elektrony wtórne (SE)
DZIAŁO ELEKTRONOWE
Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego
ZAKRES PRZESUWU UCHWYTU PREPARATOWEGO
System 3-osiowy (X, Y, R, Z, T – Manualnie)
Osie X, Y: 40 mm / Oś R: 360°
Kąt pochylenia: 0~45°
Przesunięcie obrazu: ±150µm
MAKS. WIELKOŚĆ PRÓBKI
70 mm (Średnica) x 30 mm (Wysokość)
FUNKCJA AUTOMATYZACJI
Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność
FORMAT OBRAZU
BMP, JPEG, PNG, TIFF
TRYB PRÓŻNIOWY
Wysoka próżnia (opcja niskiej próżni)
POMPA PRÓŻNIOWA
Pompa rotacyjna
Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)
WYMIARY
GŁÓWNA JEDNOSTKA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 380 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 88 kg
JEDNOSTKA KONTROLNA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 325 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 97 kg
POMPA ROTACYJNA
Szerokość: 400 mm
Głębokość: 160 mm
Wysokość: 340 mm
Masa: 24 kg