SNE 3200M

System wykorzystujący dwa detektory  – SE i BSE do analizy obrazu SEM, zapewniając wszechstronne możliwości badania szerokiej gamy typów próbek. Oba tryby próżni – wysokiej i niskiej (z redukcją napięcia) są standardem, umożliwiając analizę nieprzewodzących próbek bez powłoki metallicznej.

Rozdzielczość

15nm

Powiększenie

60 000x

Multi Detektor

SE / BSE

Elektrony wtórne (SE)

Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wtórnych przedstawiają topografię powierzchni w najdrobniejszych szczegółach.

Elektrony wstecznie
rozproszone (BSE)

Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wstecznie rozproszonych przedstawiają kontrastem mas atomowy z jasnością reprezentującą liczbę atomów.

ŁATWOŚĆ UŻYTKOWANIA

SYSTEM POLA ROBOCZEGO

X,Y,R (3-osie) Przesunięcie wiązki: 150μm

Autokalibracja

Ostrość, Kontrast, Jasność

TRYB PODWÓJNEGO WIDOKU

Jednoczesny podgląd SE/BSE

Wygoda dzięki możliwym przesunięciom pola roboczego w 3 osiach i prosta obsługa za pomocą myszki.
Możliwość analizy i zapisania obrazów SE/BSE w tym samym pliku w trybie podwójnego obrazu.

SPECYFIKACJA

ROZDZIELCZOŚĆ

15nm (30kV, Obraz SE)

20nm (30kV, Obraz BSE)

POWIĘKSZENIE

20x~60 000x

NAPIĘCIE PRZYŚPIESZAJĄCE

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

DETEKTOR

Elektrony wtórne (SE)

Elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

DZIAŁO ELEKTRONOWE

Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego

ZAKRES PRZESUWU UCHWYTU PREPARATOWEGO

System 3-osiowy (X, Y, R, Z, T – manualnie)

Osie X, Y: 35 mm / Oś R: 360°

– Przesunięcie obrazu: ±150μmCCD
– Kamera zainstalowana w komorze
– T-axis: 0-45˚ (opcja)

MAKS. WIELKOŚĆ PRÓBKI

70 mm (Średnica) x 30 mm (Wysokość)

FUNKCJA AUTOMATYZACJI

Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność

FORMAT OBRAZU

BMP, JPEG, PNG, TIFF

TRYB PRÓŻNIOWY

Wysoka i niska próżnia

POMPA PRÓŻNIOWA

Pompa rotacyjna

Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)

WYMIARY

GŁÓWNA JEDNOSTKA

 

Szerokość: 390 mm
Głębokość: 380 mm
Wysokość: 560 mm

Masa: 83 kg

JEDNOSTKA KIONTROLNA

Szerokość: 390 mm
Głębokość: 325 mm
Wysokość: 560 mm

Masa: 37 kg

POMPA ROTACYJNA

Szerokość: 400 mm
Głębokość: 160 mm
Wysokość: 340 mm

Masa: 24 kg

You have Successfully Subscribed!