System wykorzystujący dwa detektory – SE i BSE do analizy obrazu SEM, zapewniając wszechstronne możliwości badania szerokiej gamy typów próbek. Oba tryby próżni – wysokiej i niskiej (z redukcją napięcia) są standardem, umożliwiając analizę nieprzewodzących próbek bez powłoki metallicznej.
Rozdzielczość
15nm
Powiększenie
60 000x
Multi Detektor
SE / BSE
Elektrony wtórne (SE)
Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wtórnych przedstawiają topografię powierzchni w najdrobniejszych szczegółach.
Elektrony wstecznie
rozproszone (BSE)
Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wstecznie rozproszonych przedstawiają kontrastem mas atomowy z jasnością reprezentującą liczbę atomów.
ŁATWOŚĆ UŻYTKOWANIA
SYSTEM POLA ROBOCZEGO
X,Y,R (3-osie) Przesunięcie wiązki: 150μm
Autokalibracja
Ostrość, Kontrast, Jasność
TRYB PODWÓJNEGO WIDOKU
Jednoczesny podgląd SE/BSE
Wygoda dzięki możliwym przesunięciom pola roboczego w 3 osiach i prosta obsługa za pomocą myszki.
Możliwość analizy i zapisania obrazów SE/BSE w tym samym pliku w trybie podwójnego obrazu.
SPECYFIKACJA
ROZDZIELCZOŚĆ
15nm (30kV, Obraz SE)
20nm (30kV, Obraz BSE)
POWIĘKSZENIE
20x~60 000x
NAPIĘCIE PRZYŚPIESZAJĄCE
1~30kV (1/5/10/15/20/30)
DETEKTOR
Elektrony wtórne (SE)
Elektrony wstecznie rozproszone (BSE)
DZIAŁO ELEKTRONOWE
Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego
ZAKRES PRZESUWU UCHWYTU PREPARATOWEGO
System 3-osiowy (X, Y, R, Z, T – manualnie)
Osie X, Y: 35 mm / Oś R: 360°
– Przesunięcie obrazu: ±150μmCCD
– Kamera zainstalowana w komorze
– T-axis: 0-45˚ (opcja)
MAKS. WIELKOŚĆ PRÓBKI
70 mm (Średnica) x 30 mm (Wysokość)
FUNKCJA AUTOMATYZACJI
Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność
FORMAT OBRAZU
BMP, JPEG, PNG, TIFF
TRYB PRÓŻNIOWY
Wysoka i niska próżnia
POMPA PRÓŻNIOWA
Pompa rotacyjna
Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)
WYMIARY
GŁÓWNA JEDNOSTKA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 380 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 83 kg
JEDNOSTKA KIONTROLNA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 325 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 37 kg
POMPA ROTACYJNA
Szerokość: 400 mm
Głębokość: 160 mm
Wysokość: 340 mm
Masa: 24 kg