Wysoka zdolność rozdzielcza systemu pozwala na inspekcję próbek w czasie rzeczywistym i osiągnięcie powiększenia rzędu nawet do 100 000x.
Uzyskanie wysokiej jakości obrazów wyjątkowo małych elementów i cząstek jest możliwe dzięki zastosowaniu standardowej zmiennej przysłony zmiennej (30, 50, 100 µm) i optymalnego pozycjonowania próbki z dookólnym 5-osiowym zakresem ruch uchwytu preparatowego.
Rozdzielczość
5nm
Powiększenie
100 000x
Detektor SE
Obraz SE
Elektrony wtórne (SE)
Obrazy uzyskane za pomocą detekcji elektronów wtórnych przedstawiają topografię powierzchni w najdrobniejszych szczegółach.
BIO MEMBRANA – OLED
WŁÓKNA Z TWORZYWA SZTUCZNEGO
ŁATWOŚĆ UŻYTKOWANIA
SYSTEM POLA ROBOCZEGO
X,Y,R (3-osie) Przesunięcie wiązki: 150μm
Autokalibracja
Ostrość, Kontrast, Jasność
SIMPLE S/W
Convenient Operation
Jedyny nastołowy, 5-osiowy SEM, o prostej obsłudze, nieograniczonym ruchu pola roboczego, obsługiwany myszką.
Możliwość przeprowadzania różnego typu pomiarów i analiz za pomocą szerokiego zakresu trybów
SPECYFIKACJA
ROZDZIELCZOŚĆ
5nm (30kV, Obraz SE)
POWIĘKSZENIE
20x~100 000x
NAPIĘCIE PRZYŚPIESZAJĄCE
1~30kV (1/5/10/15/20/30)
DETEKTOR
Elektrony wtórne (SE)
DZIAŁO ELEKTRONOWE
Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego
ZAKRES PRZESUWU UCHWYTU PREPARATOWEGO
System 5-osiowy (X, Y, R, Z, T – manualnie)
Osie X, Y: 40 mm / Oś R: 360°
Oś Z: 0~35 mm / Kąt pochylenia: 0~45°
Przesunięcie obrazu: ±150µm
MAKS. WIELKOŚĆ PRÓBKI
80 mm (Średnica) x 35 mm (Wysokość)
FUNKCJA AUTOMATYZACJI
Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność
FORMAT OBRAZU
BMP, JPEG, PNG, TIFF
TRYB PRÓŻNIOWY
Wysoka próżnia (opcja niskiej próżni)
POMPA PRÓŻNIOWA
Pompa rotacyjna
Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)
WYMIARY
GŁÓWNA JEDNOSTKA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 380 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 88 kg
JEDNOSTKA KIONTROLNA
Szerokość: 390 mm
Głębokość: 325 mm
Wysokość: 560 mm
Masa: 97 kg
POMPA ROTACYJNA
Szerokość: 400 mm
Głębokość: 160 mm
Wysokość: 340 mm
Masa: 24 kg